襯底載物平臺:XY方向兩軸手動平移,臺面60mm x 60mm,行程25mm,調(diào)節(jié)精度優(yōu)于2μm;繞Z軸旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié),臺面φ85mm,360°粗調(diào),±5°精調(diào),可視分辨率優(yōu)于0.8′;水平傾斜調(diào)節(jié),臺面60mm x 60mm,調(diào)節(jié)范圍±2°,最小調(diào)整量5′;真空吸附加熱樣品臺,高溫~240℃,PID溫控器,控溫精度優(yōu)于±0.1℃,高熱導(dǎo)率加熱臺面,帶散熱冷卻模塊,升降溫速度快。