上海某前沿科創(chuàng)企業(yè) TLRB系列標(biāo)準(zhǔn)型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái) 交付驗(yàn)收

核心指標(biāo)：

真空吸附卡盤：6英寸

樣品臺(tái)位移精度：<10μm

探針座位移精度：<3μm

漏電流精度：<10pA

兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試

是半導(dǎo)體材料或器件電學(xué)測(cè)試的理想選擇。

TLRB系列探針臺(tái)簡(jiǎn)單介紹：

.模塊化設(shè)計(jì)，可以搭配不同構(gòu)件完成不同測(cè)試；

. 最大可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試;

.探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)精密四維調(diào)節(jié)；

. 兼容多種光學(xué)顯微鏡，可外引光路實(shí)現(xiàn)光電mapping測(cè)試；

. 滿足1μm以上電極/PAD使用;

. 漏電精度可達(dá)10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

. 探針座采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì);

. 加寬探針?lè)胖眉?，可放?個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座；

. 配顯微鏡二維精密調(diào)節(jié)功能，且可選配多種行程及驅(qū)動(dòng)方式。